机座对直线平台的性能起着重要的作用。通常要求机座的表面必须保证局部平面度＜5µm，将工作台安装在平面度差的机器底座上，会使工作台变形，变形会导致Pitch，Roll，Yaw，平面度和直线度的误差大于所列的精度指标。
